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液晶触摸屏三温区管式炉

液晶触摸屏三温区管式炉

液晶触摸屏三温区管式炉

诺泰PT-T1200型号是具有80mm直径氧化铝管、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品概述:
     PT-T1200 CVD是具有80mm直径氧化铝管真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。 
技术参数:

型号 

带有3个MFC气体通道的 PT-T1200 CVD

显示

发光二极管

最高温度

1200℃短时间

连续工作温度

≤1100℃

加热速率

建议:0〜10℃/ min

温度区

220毫米+220毫米+220毫米

加热元件

钼电阻丝

热电偶

K型

温度控制精度

±1℃

管尺寸

80x1200mm(外径x长)

管座

包括两个纤维状陶瓷块,用于阻止管子内部的热辐射(在加热之前,陶瓷块必须完全插入炉膛中)。

温度控制

通过SCR功率控制进行PID自动控制

程序和斜坡

30步可编程

真空法兰

带阀的不锈钢真空法兰

法兰

功率

220V,50 Hz,单相最大6KW

质量流量计

三种精密质量流量计:

MFC 1:气体流量范围为0〜100 sccm

MFC 2:气体流量范围为0〜200 sccm

MFC 3:气体流量范围为0〜200 sccm

(气体流量范围可根据您的要求)

底壳上装有一个气体混合罐,底壳左侧装有3个不锈钢针阀,以手动控制3种气体的混合

下面的照片是4 MFC供参考。3 MFC将带有3个显示器

质量流量计


触摸屏管式炉
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