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1200℃ CVD管式炉

1200℃ CVD管式炉

1200℃ CVD管式炉

1200度 CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计

产品概述:

      1200度 CVD管式炉管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。 PT-T1200管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

适用范围:

       1200度CVD管式炉是一种特殊的CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

标准配件:

气炼石英炉管

4路质子流量计

热电偶

气炼石英炉管×1

浮子混气系统×1

真空系统×1

高温手套

坩埚钩

热电偶

高温手套×1

坩埚钳×1

热电偶×1

刚玉坩埚

炉塞

马弗炉中文说明书

刚玉坩埚×2

炉塞×2

中文说明书×1

注:炉管、坩埚可按用户需求选配合适的款型

 

产品名称

1200度CVD管式炉

产品型号

PT-1200T-S6012LK1-3F5S

正常工作温度

1100℃(可选)

最高温度

1200℃(可选择)

温区长度

400mm(可根据需求定制)

恒温区

150mm(±1℃)

温控精度

±1℃(具有超温及断偶报警功能)

加热元件

掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)

加热速率

0~20 ℃ / 分

工作电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

控温方式

智能化30段可编程控制(用户可选配液晶触摸屏显示)

炉 管

高纯度刚玉炉管

最大功率

2.5KW

净 重

60KG

尺 寸

炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm 混气系统尺寸: 600x600x597 mm(更过规格可根据用户需求定制)

工作电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀

真空密系统

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min

真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

高温炉壳体

采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转

供气系统

该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速

混气系统

三个浮子流量计(准确率4%FS) 三路浮子量程分别为 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 内部安装有一混气罐

电气认证

CE认证

售后服务

12个月质保、终身保修

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