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PECVD系统-等离子增强型化学气相沉积系统

PECVD系统-等离子增强型化学气相沉积系统

    先简单给大家介绍下PECVD系统的概念,PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)。

    诺泰制作的混气管式PECVD为最新款,综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点,在PECVD前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。而且控制部分采用了自主研发的控制系统,使得操作更加简便,功能更加强大。
   
    当前国内PECVD镀膜的主流为管式PECVD镀膜法,即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室,使用电阻炉作为加热体,将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进料的石英管中进行沉积。沉积的均匀性与电极和腔室的设计很有关系,另外管式PECVD的气流是从石英管末端开始,这样也会造成工艺气体分布的不均匀,从而也会导致太阳能电池表面成膜的不均匀。

管式pecvd系统


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