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真空技术-真空设备的检漏方法

真空技术-真空设备的检漏方法

此项技术适用于真空设备的检漏方法选择, 适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、等真空设备。 工作时涉及真空状态的 其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。
检漏方法
检漏方法应包括基础检漏方法和应用技术两部分。选择检漏方法时应综合考虑有效最小可检漏率、检漏技术条件、安全因素和经济因素。
真空炉
洁净要求:
真空设备在检漏时应洁净、去污, 避免污染物堵塞漏孔。 典型的污染物来源有:
a )
碎屑;
b )
灰尘;
c )
油污;
d )
焊渣;
e )
油漆标记;
f )
表面腐蚀。
常用基础检漏方法有:
a )
氦质谱真空法;
b )
氦质谱正压法;
c )
气泡法;
d )
压力变化法;
e )
卤素内 - 外式检漏法;
f )
超声检漏法。
其他检漏方法:
质谱法、声学法、高压放电法、传感器检漏法、流量计法等其他检漏方法也可用于真空设备。
郑州诺泰科技主要是生产与销售的企业。产品涵盖真空炉、管式炉、箱式炉、马弗炉、高温炉等。有任何需要请联系我们。

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