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真空炉中常用的真空系统是什么?

真空炉中常用的真空系统是什么?

真空炉种类繁多,对真空系统的要求也不尽相同。就真空而言,有低真空、中真空和高真空系统。
这里有一些常用的真空系统。
1.低真空系统低真空系统适用于真空范围为2~1333Pa的真空热处理炉,如预抽式低真空井式炉。大多数泵是基于油封的旋转泵。
2.中真空系统适用于真空度为3x10~1.333Pa的真空热处理炉,中真空系统在真空热处理炉中应用最为广泛,通常由两级真空泵机组组成。主泵采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵(罗慈朋)或油增压泵的高真空系统
3.高真空系统适用于6.6x 10~1.333x10的真空度。真空热处理炉Pa系列,如真空退火炉、真空钎焊炉,通常由三级真空泵组成,主泵常用的有油扩散泵、离子泵,泵多采用一级旋转机械泵或旋转活塞泵
真空炉

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